第一百零三章 二氧化铈
第一百零三章 顾律的眉头轻轻皱起。 据他所知，这种米国新型的BuehlerPhoenixBets型抛光机，抛光精度，应该能达到0.1纳米左右。 而据黄师傅所说，他们通过这台设备，抛光后得到的硅晶片，精度最高的一次才为1.06纳米。 两者差了十倍。 这个数据不对，很不对！ 一定是哪个环节出了问题。 硅晶片，准确的来说是属于材料学领域。 但各学科之间是相互关联的。 顾律在钻研物理学中的半导体物理的时候，不仅研究了硅晶片中原子状态和电子状态以及各器件内部电子过程，还对硅晶片的整个制作流程，查阅了相当多的专业书籍和文献。 否则，他也不会在郭院士面前，大包大揽的承接下此事。 只不过，面前的情况，确实让顾律有些想不通。 要么，就是设备本身有问题，海跃公司从米国进口来的这批设备是假货！ 但这几率不大。 要么，就是在操作过程中，在哪个环节出了纰漏。 顾律曾在一本书中，看到过BuehlerPhoenixBets型抛光机的结构图纸。 顾律把眼前的设备和记忆中图纸上所描述的结构对比了一下，发现完全是吻合的。 那应该就不是买到假货了。 顾律起身，拍拍手上的尘土，对黄师傅笑着开口，“黄师傅，实际上机操作一下吧，我看一下效果。” 黄师傅点点头，几分钟后拿着一块未经过抛光处理硅晶片回来。 跟着黄师傅回来的，还有几位穿着工作服的年轻员工。 好奇的目光，打量着张经理身旁身姿挺拔的顾律。 “黄师傅，开始吧。”在几人的注视下，顾律泰然自若，目光望向黄师傅。 抛光机的操作很简单。 插上电源，将硅晶片摆放在相应的夹具上，最后加入抛光液。 按下红色按钮，启动机器。 抛光机开始工作起来。 顾律就围着这台抛光机，全方位的观察。 周围的众人全部屏住呼吸，静静的等待着。 于是乎，这片区域内，除了机器转动的声音外，只剩下顾律在地面上踱步的声音。 时间在一点点流逝。 这种新型的抛光机，抛光时间是三十分钟。 “不应该啊！”顾律摸着下巴，喃喃一声。 眼前发生的事情，确实触及到他的知识盲区了。 黄师傅放置的硅晶片位置，虽然在一定程度上，导致在抛光过程中切削深度的增加，但也不至于，精度会比预计的数值增加十倍。 机器的工作过程，顾律全程看下来了，也并没有发现什么异常。 按理说，十倍的精度差，不可能出现才对。 难道今天要翻车了？ 在抛光时间快要结束的时候，顾律目光瞥了一眼黄师傅背后，接着视线紧紧锁住那个蓝色的塑料液体瓶。 对了，抛光液！ 顾律脑中灵光一闪，瞬间明白问题的关键所在。 在抛光过程中，除了抛光机以及被抛光的物件，用来进行辅助抛光作用的抛光液，也能极大的影响被抛光物件的精度。 往往，不同型号的抛光机，不同被抛光的物件，最适宜使用的抛光液是不同的。 “你们用的是哪种抛光液？”顾律沉声问道。 “呃……”黄师傅愣了一下，随口回答，“我们现在使用的纳米三氧化二铝粉末抛光液。” 林经理一脸紧张的看向顾律，“顾先生，有什么问题吗？” 有问题，问题大了！ 纳米三氧化二铝粉末当做磨料，加入BuehlerPhoenixBets型抛光机，进行单硅晶片的精密抛光，本身就是极为不智的一种举动。 因为三氧化二铝这个东西，实在是太硬了啊！ 即便是纳米级别的三氧化二铝粉末，硬度也不会减少。在抛光过程中，肯定会对硅晶片造成损伤。 另一方面，根据Preston公式，MRR=ρwNV。 抛光磨料硬度越高，对应的切削深度越大，塑性磨削作用越弱。 他想，他已经知道，为什么使用新设备抛光后的硅晶片，在精度方面一直达不到要求了。 “抛光液用错了。”顾律眼神的平淡的看了张经理一眼，开口说道。 “难道不是用三氧化二铝粉末抛光液吗，我之前在国营大厂里，一直都是用的这个。”说话的是黄师傅。 顾律笑着开口解释，“对于那些精度不高的硅晶片，使用纳米三氧化二铝粉末当然没问题，因为制备简单，成本还低，但对于高精度抛光机，这种高硬度的抛光磨料，就明显不适用了。” “那顾先生，我们应该用哪种，当做纳米磨料？”张经理问。 “二氧化铈。”顾律请吐出四个字。 “二氧化铈？”张经理眉头皱起。 “你们这没有这种抛光液？”顾律问。 “呃……没有。”林经理老老实实的回答。 老实说，这种抛光液，在国内都不常见。 “那你们这瓶三氧化二铝抛光液，是从外面买过来的，还是自己制备的？”顾律接着问。 林经理开口，“我们自己做的，我们有一条专门的生产线。” 他们海跃公司，除了售卖一些半导体材料外，抛光液也是他们的产品之一，不过货量不大。 除了自产自销的一些外，没多少流入市场上。 顾律倒是不意外。 抛光液这东西生产起来不复杂，搭建一条生产线很简单。 “带我过去看看吧，我试试能不能制作出来二氧化铈抛光液。”顾律看向张经理，缓缓开口。 张经理愣了一下，“您……亲自制作？” 顾律耸耸肩，轻松的语气，“没必要那么大惊小乍，这东西没什么技术含量，只要材料有，稍微有点化学常识的人都会弄。” “走吧，带我去看看。”顾律挑挑眉。 “那这边……”林经理指着快要结束抛光过程的设备，犹豫的开口。 “不用再继续看了，反正结果肯定和你们之前得到的一样。没必要浪费时间。” “好吧，那顾先生，这边请。” 抛光液生产线放在了工厂那栋五层小楼的顶楼。 走进房间，可以看到两名员工在里面忙碌的工作着。 顾律来到实验台，看了一眼桌上瓶瓶罐罐拜访的那一堆化学试剂，然后扫了一眼整个房间内的大致设备，淡淡笑了笑。 “运气还不错，制备二氧化铈的材料和设备基本都有，接下来，交给我就好了。” ………………